自走型ナノマニピュレータ

miBot BT11（マイロボット）

miBot（マイボット）は、ピエゾアクチュエータを利用した高分解能のナノマニピュレータです。

特長

  • 電子顕微鏡内の空間にあわせて設置可能
  • 自走型ロボットの先端にプローブや測定ツールや電気信号の入出力を取り付けることもできます。
  • ロボットの移動速度は、最速2.5mm/sec最小動作ステップ（分解能）は1nmとなります。
  • 高速で移動し、ズームインした状況では、最小動作ステップの制御が可能です。
  • 電子顕微鏡下だけではなく、光学顕微鏡下での作業にも性能を発揮します。

Imina Technologies

Swiss Federal Institute of Technology （スイス連邦工科大学）で、10年以上研究されてきた、マイクロロボット、ナノマニピュレータのテクノロジーをベースとして、2009年に会社を創立、“miBot”の名前で、ナノマニピュレータが製品化されました。欧米を中心に、各国で様々な研究用途に使われる、miBotのアプリケーション開発に日々取り組んでいます。

キュービック型ロボットmiBot BT-11が自走、位置決めを行います。

ピエゾアクチュエータを使用した極めて精密かつ簡単な操作を実現。

【アプリケーション例】

  • ナノ&マイクロサイズのサンプル採取と移動
  • 電気特性測定用プローブ(電気信号の入出力)
  • MEMS製品の動作及び耐久性の確認
  • バイオ向け細胞のサンプル採取

仕　様

移動可能領域

4方向

大きさ

20.5mm x 20.5mm x 13.6mm（アームの長さ8.3mm / 可動角度 42度）

重　量

12g（マイクロツール重量を除く）

速　度

X, Y <25mm/sec Z: &lt150mrad/s

解像度

X:60nm Y:40nm Z:100nm（ステッピングモード）、X:1.0nm Y:0.5nm Z:1.5nm（スキャンモード）

加　重

水平方向 0.2N（静止状態）0.3N（移動状態）垂直方向、0.9Nm（6g静止状態）0.7Nm（5g移動状態）

真　空

10-7mbar未満

電気プローブ環境温度

電圧 ±100V 電流<100mA シグナル抵抗 typ. 3.5Ω 273K〜353K

miBase BS-40（miBot用プラットフォームベース）

syDriveとmiBotのインターフェースとなります。

特長

  • 1台のsyDrive Sd-10で4台のmiBotをコントロール
  • フロントパネルに全てのコネクターが有り、設置が容易
  • ステージのカスタマイズで様々な試料の評価が可能
  • オプションで真空仕様に変更可能
  • 現在ご使用のSEM,TEM,FIBへのカスタマイズも対応

【標準プローブ（オプション）】

プローブ寸法：0.1μ/0.1μm/1μm/2μm/5μm/10μm
材質：タングステン5個セットまたはニッケルメッキされたタングステン5個セット

syDrive SD-10（ピエゾエレクトリック アンプリファイア）

miBase接続しmiBotをコントロールします。
最大4台のmiBotを個別にコントロールします。

仕　様

出　力

ACのこぎり波、電圧55Vp〜185Vp、周波数0.7Hz〜9.4KHz

DC

-185V〜+185V

インターフェイス

USB1.0

電　源

100V – 240V AC（50〜60Hz）1A

サイズ（mm）

290 x 200 x 65

重さ

0.6kg

PCスペック

Windows

ソフトウェア MRC（miBot Remote Control）

miBotの動作（XYZ)及びスピードの分解能はソフトウェア(MRC)でコントロールする為、上記の製品には必須です。PCにコントロールパッドを接続しコントロールする事も可能です。

このマイクロ・ナノマニピュレータを使用することにより、電子顕微鏡や光学顕微鏡などで観察しながらミクロ・ナノサイズのサンプルを作製することができ、更にそのサンプルを数センチ以上離れた場所へ移送することも可能となります。 また、マイクロツールを付け替えることで、半導体の電気特性テスターとして活用できるだけでなく、単細胞を扱う医療バイオ業界でも実用可能です。